美国faro激光跟踪仪测量的准确性主要由光束的稳定性决定。光路的微小位置变化即可导致较大的系统误差。这种误差可能来源于原始装配误差、结构的不稳定以及使用过程中的热变形。而API激光跟踪仪巧妙的激光头设计则避免了上述因素可能给测量的准确性带来的影响。
美国faro激光跟踪仪的原理：
测量原理一般是，把从发光部到反射器的距离信息（通过三角测距法等方法获取）与激光发射角度信息（使用编码器等装置测量测得）相结合，求出球形反射器的中心坐标。角度方向是从水平和垂直两个方向进行测量。
相机主机追踪激光，沿着水平方向和垂直方向转动，使激光始终照射在接收器上。
反射器的结构为里面是镜面，不管以什么角度接收到激光，始终会从中心反射激光。反射器本身是真球的形状，始终从中心反射激光，从而求出反射器本身的球中心坐标。
美国faro激光跟踪仪的工作过程：
当元器件温度低于规定的启动温度时，控制电路开关处于闭合状态，外部直流供电电压直接为电阻加热膜供电，待加热元器件表面温度逐渐升高，温度传感器将感知到的温度信号转化为电压信号，与控制电路部分的比较器设置的基准电压进行比较（比较器设定启动温度对应的电压为基准电压）。
当温度传感器感知到的温度值高于启动温度时，感应电压大于基准电压，比较器发出控制信号，光电耦合器触发控制电路开关断开，电阻加热膜停止供电，待加热元器件表面温度逐渐降低，当温度传感器感知到的温度值低于启动温度时，感应电压小于基准电压，比较器发出控制信号，光电耦合器触发控制电路开关闭合，电阻加热膜重新开始为元器件表面加热。如此往复，实现低温加热电路的智能控制。
一般情况下，给器件设定的启动温度往往要大于器件的启动温度，以提高器件的可靠性和寿命。
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